+1!国际标准ISO 251642026正式发布

日前,国际标准化组织(ISO)正式发布由中国机械总院所属材保所牵头制定的国际标准ISO 25164:2026。

该标准明确了磁控溅射制备TiAlSiN薄膜的技术要求,同样适用于TiN、TiAlN、TiSiN薄膜沉积。标准的出台为PVD硬质涂层规范化制备、质量管控、工程应用提供国际统一技术依据,助力各国各地区技术、产品、检测评价体系协同互通,赋能先进表面工程技术国际交流与产业落地。

中国机械科学研究总院集团有限公司(以下简称中国机械总院)的前身是机械工业部机械科学研究院,成立于1956年新中国建设时期。1999年按照“国科发政字(1999)197号文”的要求,将原机械工业部直属的从事基础共性技术研究与开发的一批研究所划入机械总院整体转制为中央直属企业…

来源: 机械总院
产业标签 半导体长征/设备材料/刻蚀与薄膜沉积
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