36氪获悉,机器人在互动平台表示,公司目前暂无脑机接口相关产品。在半导体装备业务领域产品包括EFEM、大气机械手、真空机械手及真空传输平台等,主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节及领域。
机器人:目前暂无脑机接口相关产品
来源:
36氪-融资快讯
36氪获悉,机器人在互动平台表示,公司目前暂无脑机接口相关产品。在半导体装备业务领域产品包括EFEM、大气机械手、真空机械手及真空传输平台等,主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节及领域。

