【马斯克瞄准EUV光源:FEL技术受青睐,芯片成本或迎变革】

钛媒体App 8月10日,继造车、火箭、人形机器人之后,马斯克正将目光投向芯片制造核心环节——EUV光源。相较于目前成熟商用的激光产生等离子体(LPP)光源技术,马斯克对自由电子激光(FEL)表达出明显的青睐。

自由电子激光(FEL)理论上可大幅降低先进芯片生产成本,但目前仍处于早期研发阶段。(广角观察)

来源: 钛媒体-快讯
产业标签 半导体长征/设备材料/光刻与涂胶显影
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