汇专超声方案赋能半导体零部件超深微孔加工，刀具成本下降50%

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汇专超声方案赋能半导体零部件超深微孔加工，刀具成本下降50% 2026年05月07日 15:42 A5创业网 新浪财经APP 缩小字体 放大字体 收藏 微博 微信 分享 腾讯QQ QQ空间
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汇专超声方案赋能半导体零部件超深微孔加工，刀具成本下降50%
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5月5日，SEMICON Southeast Asia 2026 东南亚半导体展览会在吉隆坡·马来西亚国际贸易展览中心盛大启幕，汇专携先进材料超深微孔超声加工整体解决方案亮相2161展位，集中展示超声绿色雕铣加工中心UEM-500、超声振幅测量仪、超声刀柄、冷压机、整体PCD刀具、小径挤压丝锥等系列创新产品，与来自世界各地的新老客户及合作伙伴共探半导体产业发展新机遇。一、明星产品矩阵集中亮相汇专此次展示的系列产品覆盖半导体精密零部件加工的数控机床与配套零部件。其中，整机级特色产品超声绿色雕铣加工中心UEM-500，配置汇专自主研发超声加工技术，超声电主轴最高转速可达40,000rpm，定位精度可达5μm，重复定位精度可达3μm，有效满足半导体、消费电子等行业硬脆材料、工程塑料、金属材料及复合材料的超微深孔及表面高光加工需求。部件级特色产品超声振幅测量仪可实现刀长、刀径检测，刀具位置校准与超声振幅在线测量，测量最大振幅60μm，测量精度±0.5μm，测量刀径范围0.3-55mm，频带范围100kHz，激光功率1mW、波长650nm，防水等级IPX8，确保超声加工效果保持稳定。零件级特色产品整体PCD刀具可针对性解决各类难加工材料的加工痛点，不仅加工精度更高、刀具寿命更长，更能帮助客户提升加工效率、节约生产成本。其中，整体PCD微钻采用整体PCD材质钻尖，耐磨性更好，适用于硬脆材料的钻孔加工，有效提升刀具寿命和钻孔质量，可量产最小直径D0.1mm整体PCD钻头，有效解决深径比55:1的单晶硅曲面电极超深微孔钻孔难题。整体PCD微刃铣刀刃宽≥5μm，刃数≤300F，以铣代磨，加工碳化硅HV 3,200，粗糙度≤5nm，可实现镜面效果。整体PCD螺纹铣刀采用专利刃口微织构设计，加工螺纹精度达4H级，是硬脆材料及复合材料高效高质高精螺纹加工上佳选择，应用于铝基碳化硅（碳化硅含量60%）加工，无裂纹无崩边，刀具寿命提升800倍。展会现场，汇专不仅设置超声振动与超声振幅测量体验区，帮助观众更直观地了解汇专超声技术产品的加工原理及优势，更设置微孔放大观察区，帮助他们近距离查看整体PCD刀具在半导体先进材料加工方面的超深微孔效果。超声振动与超声振幅测量体验区：微孔放大观察区：汇专特色工件展示：终端客户工件展示：二、超声加工整体解决方案在半导体先进材料加工领域，汇专超声绿色机床可与超声加工技术、超声振幅测量仪、超声绿色刀柄及整体PCD刀具灵活组合使用，为客户量身定制高效、稳定、低成本的超深微孔超声加工整体解决方案。01 工程塑料探针卡阶梯微孔加工材料：杜邦工程塑料 (VESPEL SCP5000)加工特征：D0.22/D0.32mm阶梯微孔钻孔加工优势：●可稳定加工D0.22mm/D0.32mm的阶梯微孔●孔间距最小0.35mm，孔壁最薄为0.03mm，孔壁厚度一致性好，无破壁现象●孔口毛刺从0.095mm缩短至0.027mm，缩短72%●传统方案毛刺覆盖率达5%，汇专方案毛刺覆盖率低至0.2%，减少后工序成本，提升产品良率02 CVD碳化硅(SiC)喷淋盘阶梯孔加工材料：CVD碳化硅(SiC)硬度：HV 3,150加工特征：D1.0x6.9/D0.5×5.5mm阶梯孔钻孔加工优势：●D1.0/D0.5mm阶梯孔单孔加工时间从17分25秒缩短至13分58秒，加工时间缩短20%●可稳定加工390个D1.0孔，刀具寿命提升105.3%●可稳定加工320个D0.5孔，刀具寿命提升100%●加工单个工件所需刀具从11.617支减少至5.74支，刀具成本减少50.59%●显微镜放大至90倍检测，孔口崩边量≤0.05mm●孔同心度≤0.026mm●D1.0孔真圆度0.006mm-0.013mm，D0.5孔真圆度0.004mm-0.007mm●D1.0孔位置度0.006mm-0.049mm，D0.5孔位置度0.015mm-0.049mm●D1.0孔垂直度≤0.033mm， D0.5孔垂直度≤0.039mm●D1.0孔平均粗糙度Sa0.0097μm，D0.5孔平均粗糙度Sa0.033μm03 单晶硅曲面电极钻孔加工材料：单晶硅加工特征：D0.45×24.75mm超深微孔钻孔加工优势：●整体PCD钻头可连续加工超过1,000个D0.45×24.75mm的超深微孔（深径比55:1）●入口处目视无崩边●孔真圆度达0.003mm●孔壁粗糙度Sa从6.540μm降低至 0.013μm，降低99.8%汇专先进材料超深微孔超声加工整体解决方案不仅成功解决工程塑料探针卡、CVD碳化硅(SiC)喷淋盘、单晶硅曲面电极加工难题，在多晶硅栅极环、石英玻璃喷淋盘、蓝宝石工件、氧化铝陶瓷喷淋盘、氮化硅卡盘、石墨坩埚、铝基碳化硅工件、铝合金喷淋盘、高温橡胶喷嘴等多种半导体精密零部件中，同样具备显著优势，可有效帮助客户缩短加工时间、改善工件质量、提高产品良率。未来，汇专将持续深耕高端制造领域，不断深化与海外代理商的协同合作，聚焦不同国家及地区的半导体制造需求，提供更贴合当地市场的加工解决方案与本土化服务，为“中国制造”走向全球贡献创新力量。关于汇专：汇专创立于2003年，专注于高端超声绿色数控机床及关键部件的研制。二十年来，始终秉承“汇全球资源，专行业领先”的理念，紧紧围绕“高效、绿色、智能”的主线，实现产品从零件级、部件级到整机级的跨越，构建以数控机床为核心、关键部件与高性能工具协同发展的产业布局，客户遍布航空航天、半导体、医疗、消费电子、汽车、模具、教育和通用机械等精密制造领域。集团总部位于广州科学城，在全国七大区设有销售技术服务中心，并在中国香港、中国台湾、韩国、日本、瑞士、德国和美国等地建立研发、销售、服务体系，产品远销全球六大洲超过70个国家和地区，逐步形成研发、生产、销售、服务全球一体化布局。公司坚持创新驱动战略，拥有两家国家高新技术企业，设有前沿技术研究院和广东省工程技术中心，核心技术专利超过1,100项，主要产品技术经中国工程院院士领衔的专家组鉴定达到国际领先水平，先后荣获广东省科技进步一等奖、广东省专利奖银奖、中国专利奖优秀奖、广东省疫情防控物资保障工作重要贡献企业、广州市民营领军企业等殊荣。申请创业报道，分享创业好点子。点击此处，共同探讨创业新机遇！ 新浪科技公众号 “掌”握科技鲜闻 （微信搜索techsina或扫描左侧二维码关注） 相关新闻 创事记 阅读排行榜 评论排行榜 4只皮皮虾1035元 涉事海鲜店回应：店内海鲜均明码标价 中国强硬拒绝世界杯天价转播费上热搜：国际足联看人下菜被吐槽 漫天要价谈判僵持 黄仁勋：我们在中国的业务现在已经完全停滞了 苏州厂生产继续！三星宣布中国停售电视、显示器等在内所有家电产品 主因是卖太贵 华为MatePad Pro Max旗舰平板官宣 13.2英寸3K大屏 麒麟9系芯 首款阔屏直板旗舰来了！华为打造 麒麟9系芯片加持 10后小孩哥用AI帮妈妈管店 比请临时工还靠谱 小狗靠捡瓶子攒10万 主人回应：大部分来自短视频收益 号称太阳能+风能双发电！央视揭秘电动自行车续航神器：没用 还可能引发自燃 无惧美国暂停供货！华虹半导体股价继续大涨 4天涨近25% 当欧美车企引入韩系电池，中企的护城河还深吗？ 转播权报价高达21亿元 近乎是印度10倍！FIFA回应中国区天价世界杯版权 让迪士尼血亏1.7亿！白雪公主演员新造型遭全网群嘲 三星宣布退出中国家电市场，手机产品正常销售 印度男子头插砍刀淡定玩手机：刺入脑近4厘米 10小时后才手术 世界杯FIFA向中国开出21亿元天价版权费 比印度快多10倍：央视拒绝获网友力挺 网友称郑钦文比赛直播间无法评论 优酷体育回应：发表不良言论及违规行为者 将至少1天禁言处罚 闻泰科技一字跌停，昔日大牛股正式“披星戴帽” 花一条产线的钱换欧洲30万辆产能！吉利将收购福特工厂产线 消息称月之暗面 Kimi 将完成 20 亿美元新融资，估值破 200 亿美元 科学探索 威马递表港交所 累计售车不足10万去年亏… 科学大家 《科学大家》| 新冠疫苗接种已不是选择题… 苹果汇 因iPhone包装不含充电器，苹果在美国… 众测 华为路由X3 Pro体验评测 来电聊 2018新浪科技风云榜回顾 专题 海外周选——每周一个有趣故事 官方微博 公众号 新浪科技 新浪科技为你带来最新鲜的科技资讯 苹果汇 苹果汇为你带来最新鲜的苹果产品新闻 新浪众测 新酷产品第一时间免费试玩 新浪探索 提供最新的科学家新闻，精彩

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（来源：新浪科技-创业，2026-05-07）